簡易的紫外線腔室柜
該紫外線腔室工具集中于一點:光致抗蝕層的UV曝光。這是一個使用UV LED工作的便攜簡易設(shè)備,可確保較長的使用壽命及完美的中心曝光波長,且無需加熱或冷卻時間。您可以對設(shè)備的曝光功率和曝光時間這兩個主要參數(shù)進行調(diào)節(jié),以有效地加工微流體模具。
● 可編程的功率和曝光時間
● 簡易的遮罩位置
● 快速且易于使用
● 不需要潔凈室
優(yōu)勢
● <15°的準直良好的光線
● 可編程的照明功率和曝光時間
● 可切換的UV LED光源(365nm,385nm,395nm,405nm)
● 提供軟光刻工藝的技術(shù)文檔和知識
價格低廉的簡易曝光設(shè)備
使用UVW25曝光機,操作簡單且高效。主要目標是使您的光刻膠暴露在所選的紫外光線下。
技術(shù)支持
我們對提供的所有設(shè)備均提供高水平的支持,同時也為曝光前后的相關(guān)微加工步驟提供支持。我們不僅可以幫助您完成加工流程的一部分,同時還可以在整個流程中為您提供指導。
技術(shù)規(guī)格
● 集成紫外線燈的UVW25曝光機,提供365nm、385nm、395nm或405nm四種不同的波長選擇,以適應(yīng)各種光刻膠。
● UVW25曝光機具有90%以上的曝光均勻性和15°以下的準直角
● 標稱曝光功率為250mW/cm2,但可以在20%至100%之間進行調(diào)節(jié)
● 托盤尺寸為300×300mm,因此可用于曝光6英寸的基材。
● 托盤可以通過5個不同的位置移開或移近紫外燈(它將定義典型的功率和暴露在表面上的區(qū)域),該位置有5個不同的位置:距離UV LED燈的發(fā)射窗口5/10/15/20/或25cm。
● UVW25的正面有一個安全窗口,可以在曝光期間無風險地看到曝光過程。